Выберите номер:

Основной вид деятельности предприятия — изготовление пластин монокристаллического кремния, на которые впоследствии наносятся микросхемы. Кроме пластин, здесь также производятся облучатели бактерицидные, рециркуляторы, измерители артериального давления и др.

Более 10 лет назад на предприятии разработали инвестиционный проект, в рамках которого был закуплен станок струнной резки для резки цельного слитка кремния на тонкие пластины (длина слитка — около 400 мм, а толщина пластины — 300–600 мк). Режущими инструментами станка являются многопроволочная сетка (струна) и абразивная суспензия, которая подается на сетку (она также выступает в роли смазочно-охлаждающей жидкости).

Согласно технологической документации приготовление абразивной суспензии представляет собой смешивание двух компонентов — полиэтиленгликоля низкомолекулярного (далее — ПЭГ) и карбида кремния.

После завершения цикла резки абразивная суспензия теряет свои свойства и переходит в разряд отходов производства.

Изначально при подготовке инвестиционного проекта планировалось вывозить данный вид отходов в страны Европейского союза и Российскую Федерацию, т.к. в то время там располагались заводы, которые занимались регенерацией (восстановлением) абразивной суспензии (проектом предполагалось ее повторное использование). Однако за время проверки и утверждения проекта, наладки оборудования и запуска технологического процесса в законодательство стран Европейского союза и Российской Федерации были внесены изменения, а также были ужесточены экологические требования в Республике Беларусь.

Кроме того, возник еще ряд проблем, связанных с передачей отхода за территорию Республики Беларусь. Одна из них — колоссальные затраты на транспортировку отхода и его регенерацию. Также выяснилось, что регенерации подлежит только абразивная суспензия, которая содержит микропорошок карбида кремния определенной марки.

За период с момента запуска технологического процесса до наладки потоковой работы на территории предприятия накопилось около 10 т отработанной абразивной суспензии. Поскольку с передачей отхода на использование за границу возникли сложности, предприятию необходимо было получить разрешение на хранение отходов и зарегистрировать объект для хранения отработанной суспензии в реестре объектов хранения и захоронения отходов.
 

ОПРЕДЕЛЯЕМ СОСТАВ ОТРАБОТАННОЙ СУСПЕНЗИИ

Первым шагом было определение состава отработанной суспензии.

Так, согласно заключению Института общей и неорганической химии Национальной академии наук Беларуси отработанная суспензия состоит из следующих компонентов:

• ПЭГ;
• карбид кремния;
• следы полимерного материала от прокладки для приклейки слитков;
• следы клея двухкомпонентного на основе эпоксидной смолы;
• следы стальной проволоки.

Также было установлено, что суспензия при отстаивании в течение непродолжительного времени имеет свойство расслаиваться на фракции (ПЭГ скапливается вверху бочки, а карбид кремния выпадает в виде твердого осадка). Однако разделение происходит не полностью: верхняя жидкая фракция представляет собой ПЭГ со взвесью карбида кремния, а твердая фракция содержит большое количество ПЭГ.